VMR-Z120X 高倍率系列 ( 微機電 )
可变倍率高达 120 倍，针对需要较高精密度和高光学密度的应用领域
1.发的**高倍率机型 vmr-z120x
藉由转换2组物镜而获得宽广的倍率，范围从 1 倍到 120 倍。使用上结合 8 段的变焦倍率后，使其应用从低倍率时宽广视野观测到小於 1um 的细微线宽量测，都有**的倍率选择。
2.物镜－大视野与高解析 (n. a. 0.55 ) 结合2种物镜后的应用范围更加宽广，从低倍率时大视野的观察到高倍率时的精密测量都能使用。
倍率 - 视野表 (mm)
光学倍率 综合倍率 视野
1X 36X 4.67x3.5
2X 72X 2.33x1.75
4X 144X 1.165x0.875
7.5X 270X 0.622x0.467
16X 576X 0.291x0.218
32X 1146X 0.146x0.109
64X 2292X 0.073x0.065
120X 4320X 0.039x0.029
* 以上的倍率显示为 SXGA(1280*1024) 模式于 17" 液晶荧幕上所呈现出來的結果
3.机种型 组藉由提供 3 种 cnc 控制的光源类型给予**的照射－表面光、轮廓光（高倍率光学头）和暗视野；使得边缘的侦测拥有高精确度。
规格诸元表
机型
VMR-1515 Z120X
VMR-3020 Z120X
VMR-6555 Z120X
VMR-10080 Z120X
VMR-12072 Z120X
行程 (XxYxZ) mm
150 × 150 × 150
300 × 200 × 150
650 × 550 × 150
1000 × 800 × 150
1200 × 720 × 150
**小读值
0.1 μm
**承重
20kg
30kg
40kg
量测精度
U 1X U 1Y
1.5+ 4L /1000 μm
1.5+ 2.5L /1000 μm
2+ 4L /1000 μm
2.2+ 4L /1000 μm
U 2XY
2.5+ 4L /1000 μm
2.5+ 2.5L /1000 μm
3+ 4L /1000 μm
3.2+ 4L /1000 μm
Z Axis
1.5+ L/150 μm
攝影机
B & W 1/3"CCD(progresssive) ; Color 1/3"CCD
工作距离
高倍
9.8 mm
低倍
32 mm
倍率─ 视野
1X -- 4.67 × 3.5 mm / 120X -- 0.039 × 0.029 mm
自动对焦方式
TTL 雷射對焦和影像對焦
光源种类
底部光 ( 高倍光學頭 ) 、表面光、暗視野
電源
AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
电力消耗
Max. 13A
Max. 15A
外观尺寸与重量 (W x H)mm
仅主体
512 × 703 × 1200 約 180kg
625 × 728 × 1195 約 200kg
N.A.
主体与防震桌
690 × 730 × 1725 約 220kg
690 × 730 × 1725 約 240kg
1220 × 1680 × 1750 約 600kg
1530 × 2200 × 1750 約 1500kg
1734 × 2200 × 1750 約 1600kg
控制箱
250 × 550 × 500 約 31kg
接地尺寸 (W x D) mm
2100 × 1100
2400 × 2000
2800 × 2500
3000 × 2500
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